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单晶炉、多晶炉配套真空泵设备

发布时间:2019/09/11
单晶炉、多晶炉配套真空泵设备
timg 单晶炉、多晶炉配用真空泵以2H-120滑阀真空泵、2H-100滑阀真空泵,居多。其中清理单晶炉仍然使用水环真空泵2SK-6A型号。多晶硅炉配套真空泵可根据用户情况定制各类真空机组。
一、 2H-100滑阀真空泵  主要性能参数: 极限真空:6X10-2  抽气速率:100L/S  进气口径:80mm 排气口径:80mm 电机功率:7.5KW  二、 2H-120滑阀真空泵  主要性能参数: 极限真空:6X10-2  抽气速率:120L/S  进气口径:100mm 排气口径:80mm 电机功率:11KW  三、 2SK-6A水环真空泵  主要性能参数: 极限真空:3300Pa  抽气速率:6m3/min 进气口径:50mm 排气口径:50mm  配用功率:11KW 
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